Difuzoare cu cameră metalică poroasă de înaltă puritate HENGKO Piatră pentru filtrarea gazelor de înaltă puritate la semiconductor
Difuzoarele metalice poroase HENGKO aerisesc rapid camerele de vid în atmosferă, ceea ce scade timpul ciclului și crește debitul.Difuzoarele noastre din oțel inoxidabil asigură fluxuri uniforme și laminare de gaz fără particule deranjante în cameră.Aceste difuzoare metalice poroase îndepărtează, de asemenea, particulele mai mari de 0,1 µm din gazul care intră, reducând la minimum defectele plachetei.
Difuzoarele din oțel inoxidabil pot rezista la presiuni de operare mai mari și pot menține integritatea produsului - cea mai lungă durată de viață din industrie.Și, pentru o rezistență la coroziune superioară nichelului, utilizați difuzoare de înaltă puritate HENGKO.
Aplicații
Difuzoarele metalice poroase HENGKO sunt utilizate în aplicații de ventilație pe camerele de blocare a sarcinii, camerele de transfer, camerele de răcire și camerele de proces ale interfețelor echipamentelor semiconductoare (CVD, PVD, Etch, Epi) sau alte camere de vid.
Nu găsești un produs care să corespundă nevoilor tale?Contactați personalul nostru de vânzări pentruServicii de personalizare OEM/ODM!