Senzor de temperatură și umiditate pentru schema de control al umidității temperaturii camerei curate cu semiconductor
plasare de produs
Temperaturașiumiditatea spațiului curat este determinată în principal în funcție de cerințele procesului, dar în condiția îndeplinirii cerințelor procesului, trebuie să se țină cont de sentimentul de confort.Odată cu îmbunătățirea cerințelor de curățenie a aerului, a existat o tendință de cerințe din ce în ce mai stricte pentru temperatură și umiditate.
Pe măsură ce acuratețea procesării este din ce în ce mai fină, intervalul de fluctuație a temperaturii este din ce în ce mai mic.De exemplu, în procesul de expunere litografică al producției de circuite integrate la scară largă, diferența de coeficient de dilatare termică dintre sticlă și placă de siliciu ca material de mască trebuie să fie din ce în ce mai mică.Placa de siliciu cu diametrul de 100 um, creșterea temperaturii cu 1 grad, va provoca o expansiune liniară de 0,24 um, deci trebuie să existe o temperatură de ± 0,1 grade, în același timp, valoarea umidității este în general scăzută, deoarece oamenii transpira, produsul va avea poluare, în special frică de atelierul de semiconductori de sodiu, acest atelier nu trebuie să depășească 25 de grade.
Umiditatea ridicată cauzează mai multe probleme.Când umiditatea relativă depășește 55%, pe peretele conductei de apă de răcire se va forma rouă, ceea ce va provoca diverse accidente dacă se întâmplă în dispozitive sau circuite de precizie.Când umiditatea relativă este de 50%, este ușor să ruginească.În plus, atunci când umiditatea este prea mare, praful lipit de suprafața cipului de siliciu va fi adsorbit chimic pe suprafață pentru a rezista la îndepărtare.Cu cât umiditatea relativă este mai mare, aderența este dificil de îndepărtat, dar când umiditatea relativă este mai mică de 30%, particulele sunt ușor de adsorbit pe suprafață datorită acțiunii forței electrostatice, iar un număr mare de dispozitive semiconductoare sunt predispus la defectare.Intervalul optim de temperatură pentru producția de napolitane este de 35-45%.
Prin urmare, controlul temperaturii și umidității este deosebit de important, HENGKO vă poate oferi o serie detransmițător de temperatură și umiditate soluții de procesare personalizate!
Senzor de temperatură și umiditate pentru schema de control al umidității temperaturii camerei curate cu semiconductor
Nu găsești un produs care să corespundă nevoilor tale?Contactați personalul nostru de vânzări pentruServicii de personalizare OEM/ODM! 
