Filtrare de înaltă puritate pentru fabricarea ultra-curată a semiconductorilor
Descriere
Filtru de gaz cu debit ridicat – Conceput special pentru filtrarea gazelor de proces de puritate ultra-înaltă în fabricarea semiconductorilor. Fabricat cu precizie din oțel inoxidabil 316L, acesta prezintă un design cu mediu filtrant cu coloane multiple sau discuri suprapuse pentru a asigura o rezistență redusă la debite mari, cu o precizie de filtrare care atinge 0,003 μm pentru a îndeplini cerințele de puritate ultra-înaltă. Construcția integrală din metal îl face o soluție ideală de filtrare pentru medii dinamice cu temperaturi ridicate.
Caracteristica produsului
▶Structură completă din oțel inoxidabil 316L— Asigură durabilitate și rezistență la coroziune.
▶Debit ridicat, rezistență scăzută— Optimizat pentru debit ridicat cu pierderi minime de presiune.
▶Eficiență ultra-înaltă de retenție a particulelor— Excelent pentru menținerea unor condiții ultrapure.
▶Rezistent la temperaturi ridicate, presiune și coroziune— Potrivit pentru medii dure.
▶Compatibil cu diverse gaze de proces— Versatil pentru multiple aplicații industriale.
▶Ideal pentru producție, testare și ambalare în camere sterile— Perfect pentru utilizare în medii controlate.
▶Testare de integritate 100%— Fiecare filtru este supus unor teste complete de integritate pentru asigurarea calității.
▶Testare 100% a scurgerilor de heliu— Verificat prin testare a scurgerilor cu heliu pentru a asigura fiabilitatea în aplicații critice.

Fișa cu date
Parametri tehnici
| Parametru | Specificații |
|---|---|
| Materialul elementului filtrant | Oțel inoxidabil 316L sinterizat cu pulbere |
| Materialul carcasei | Oțel inoxidabil 316L |
| Presiune maximă de admisie | 207 bari |
| Presiune diferențială maximă de funcționare | 5,2 bari |
| Rata de scurgere a validării heliului | 2 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Rata de scurgere a testării heliului | 1 x 10⁻¹⁰ cm³/min |
| Tratament de suprafață | |
| Suprafață externă | Ra < 1,6 μm |
| Suprafață internă | Ra < 0,2 μm |
| Temperatura maximă de funcționare | |
| Gaz inert | 400-500℃ |
| Gaz coroziv și reactiv | 50℃ |
| Eficiența de retenție a particulelor | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Curățenie în aval | ≤0,03 particule/litru la > 0,01 μm, 30 slpm |
| Dimensiunea de retenție a particulelor | ≥0,003 μm |
Dimensiune

Iată numărul piesei pe care o puteți comanda și detalii despre dimensiuni:
| Modelul produsului | Materialul elementului filtrant | Precizia filtrării (μm) | Tip de conexiune |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Oțel inoxidabil 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Oțel inoxidabil 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Oțel inoxidabil 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Oțel inoxidabil 316L | 10~0,003 | 1” |
| Personalizabil | Oțel inoxidabil 316L | 10~0,003 | După cum este necesar |
Aplicații tipice
câteva aplicații tipice aleFiltre de înaltă puritate pentru vrac și utilitareşiFiltre de debit de gaz la platforma de gaz:
1. Fabricarea semiconductorilor
*Asigură alimentarea cu gaz ultrapur pentru fabricarea plachetelor, gravare și procese de depunere chimică din vapori (CVD).
*Menține o puritate ridicată în sistemele de distribuție a gazelor în vrac pentru azot, argon și alte gaze purtătoare.
2. Producția farmaceutică
*Oferă gaz steril și fără particule pentru medii critice de fabricație.
*Suportă filtrarea de înaltă puritate pentru camere sterile și medii controlate, pentru a menține integritatea produsului.
3. Sisteme de gaze de laborator
*Utilizat în laboratoare pentru purificarea fluxurilor de gaze în echipamente analitice precum cromatografia de gaze și spectrometria de masă.
*Asigură gaze de înaltă puritate pentru aplicații de cercetare și testare, protejând instrumentele sensibile.
4. Prelucrarea alimentelor și băuturilor
*Filtrează CO₂ și alte gaze utilizate în carbonatare, ambalare și depozitare, menținând siguranța și calitatea alimentelor.
*Asigură alimentarea cu gaz fără contaminare în instalațiile de procesare, în special pentru utilitățile de gaze vrac.
5. Industria petrolului și gazelor
*Purifică fluxurile de gaze naturale prin filtrarea cu pad de gaz, eliminând contaminanții înainte de depozitare sau transport.
*Protejează echipamentele din aval prin îndepărtarea particulelor, umezelii și impurităților din sistemele de curgere a gazelor de înaltă presiune.
6. Fabricarea substanțelor chimice
*Filtrează gaze utilitare precum azotul și argonul utilizate în sinteza și reacțiile chimice.
*Menține puritatea gazului pentru a preveni contaminarea și inconsecvențele reacției.
7. Aerospațial și Apărare
*Furnizează gaze de înaltă puritate în mediile de fabricație și testare a materialelor și componentelor aerospațiale.
*Asigură o puritate constantă a gazului în medii controlate pentru asamblarea aeronavelor și a echipamentelor de apărare.
8. Producția de energie (Centrale electrice)
*Filtrează gaze de înaltă presiune pentru aplicații de răcire și procesare, în special în medii cu temperaturi ridicate.
*Îmbunătățește eficiența și reduce uzura echipamentelor prin prevenirea contaminării în sistemele de răcire și curgere a gazelor.
Aceste fFiltrele sunt esențiale în orice aplicație care necesită un flux de gaz curat și constant, sporind protecția echipamentelor,
eficiența proceselor și calitatea produsului final în toate industriile.
![]()
Trimite-ne mesajul tău:






