Filtre IGS de înaltă performanță cu montare la suprafață și etanșare C pentru sisteme de livrare a gazelor semiconductoare
Descriere
Filtrele HENGKO pentru montare pe suprafață sunt concepute pentru a îndeplini cerințele exigente ale sistemelor integrate de gaz utilizate în uneltele OEM pentru semiconductori. Oferind o filtrare de top în industrie la 0,003 µm, aceste filtre asigură performanțe și fiabilitate excepționale, cu o eficiență de interceptare a particulelor de ≥99,9999999% (9-LRV) la 120 slpm.
Construite din oțel inoxidabil robust 316L sinterizat în pulbere pentru elementul filtrant și carcasă, aceste filtre sunt conforme cu specificațiile SEMI F86-0304, având componente cu două porturi adaptate pentru sisteme de distribuție a gazului de 1,125” cu o configurație de etanșare C. Acestea suportă o presiune maximă de intrare de 3,4 MPa la 100°C și o diferență maximă de presiune de funcționare de 0,69 MPa la 100°C.
Aceste filtre specializate, compatibile atât cu specificațiile de etanșare de tip C, cât și cu cele de tip W, asigură curățenie în aval prin eliberarea particulelor de...
Cu un finisaj de suprafață de Ra< 1,6 µm pe exterior și RaCu o grosime interioară < 0,13 µm, acestea sunt concepute să reziste la temperaturi ridicate de până la 460°C. Proiectate pentru o integrare ușoară și modernizări modulare, aceste filtre simplifică instalarea și întreținerea, ajutând la optimizarea performanței sistemului în aplicațiile de livrare și control al gazelor semiconductoare.
Caracteristica produsului
▶ Construcție generală din oțel inoxidabil 316L
▶ Design miniaturizat, structură compactă, economie de spațiu
▶ Caracteristici excelente de înlocuire a gazelor și desorbție
▶ Rezistență la temperaturi ridicate, presiune ridicată și coroziune
▶ Carcasă din oțel inoxidabil 316L electrolustruit
▶ Instalare și întreținere ușoară și eficientă
▶ Etanșare mecanică, structural nesudată la mediu
Fișa cu date
| Parametri tehnici | Valori |
|---|---|
| Materialul elementului filtrant | Pulbere sinterizată din oțel inoxidabil 316L |
| Materialul carcasei | Oțel inoxidabil 316L |
| Presiune maximă de admisie | 3,4 MPa la 100°C |
| Diferența maximă de funcționare | 0,69 MPa la 100°C |
| Verificarea ratei de scurgere a heliului | 1x10⁻¹¹ cm3/min |
| Rata de scurgere a testului de heliu | 1x10⁻⁹ cm³/min |
| Tratament de suprafață | Suprafața exterioară Ra< 1,6 μm |
| Suprafața interioară Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura maximă de funcționare | 460°C |
| Eficiența de interceptare a particulelor | ≥99,9999999% (9-LRV) la 120 slpm (MPPS de referință, toate particulele) |
| Curățenie în aval | Eliberarea particulelor:< 0,03 particule/litru (< 1 particulă/ft³) |
| Volatile:< 10 ppb umiditate | |
| Dimensiunea interceptării particulelor | ≥0,003 μm |
| Interval de debit | 0 ~ 120 slpm |
Dimensiune
Iată numărul piesei pe care o puteți comanda și detalii despre dimensiuni:
| Modelul produsului | Debit | Înălțime (mm) | Precizie a filtrării | Nivel de curățare |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Aplicații tipice
Pentru utilizare cu sisteme modulare de alimentare cu gaz, cu montare aparentă, de tip W-seal și C-seal, de 1,125” și 1,5”.
Trimite-ne mesajul tău:
